第90回半導体・集積回路技術シンポジウムを東京エレクトロン株式会社赤坂本社（Bizタワー37F）で開催いたしました。17件の招待講演と11件の一般講演がありました。同社での開催は大変好評で、参加者は１３２名（委員、招待講演者含）と大幅増となりました。25F社員食堂で開催のポスター発表・情報交換会にも多くの参加者がありました。

なお、予稿集を販売しております。いずれも電子データです。CD-ROMの場合は６５００円（税、送料込）、電子データのみの場合（ダウンロード）は３５００円（税込）です。支払いは銀行振込に限り、個人の申し込みの場合には入金確認後のお渡しとなります。詳しくはページ上の問い合わせから事務局までどうぞ。

シンポジウムURL
https://semicon.electrochem.jp/page/90