- 小田翔太（熊大院自）プロセスインフォマティクスによる超臨界流体薄膜堆積法の最適製膜条件決定
- 村田逸人（熊大院自，日本酸素株式会社）ヒドラジンを用いたSiN-ALD の選択成長の実現
- 青木 夏美（電子科学株式会社）バンドギャップモニタリングシステムを用いた昇温脱離分析による水素注入SiO2/Si構造からの脱離水の分析
- 金本修也（関西大学）AAOテンプレートを用いたMoS2ナノチューブの作製及び湿度応答性評価
- 石田栞大（熊大院自）ALD のサステナブル化に向けた原料・反応剤のオンデマンド供給系の構築
- 黒田基市（兵庫県立大学大学院）多孔質シリコン基板を用いたLIBSによるHF含有薬液のその場測定
- 河島 龍（富山県立大学）c-BN/Cu のショットキー障壁の推定
- 遠藤蒼太（山梨大学工学部）超臨界CO2流体を用いたCuエッチングのリアルタイム抵抗測定
- 山本美優（山梨大学大学院）高圧CO2中における有機薄膜のエリプソメトリ測定
- 中家 佑吾（堀場エステック）熊大院自 イメージングエリプソメトリによる横型高アスペクト比テスト構造の評価を通じたALD 段差被覆性解析手法の構築
- 大川智也（関西大学）Si陽極酸化におけるイオン性界面活性剤の添加効果