第89回半導体・集積回路技術シンポジウムをハイブリッド開催いたしました。１６件の招待講演と４件の一般講演がありました。参加者（登録者）は約９５名で前回より微増でしたが完全オンライン聴講の方は少なく、「酷暑」の中、会場では熱のこもった議論が行われました。

一般講演はポスター形式で講演者はすべて学生でした。優秀発表賞は、濱村尚伸 さん（関西大学）の「無電解めっきによる微細配線応用に向けたRu膜の形成と評価」に贈られました。

なお、予稿集を販売しております。いずれも電子データです。USB媒体の場合は７５００円（税、送料込）、電子データのみの場合（ダウンロード）は３５００円（税込）です。支払いは銀行振込に限り、個人の申し込みの場合には入金確認後のお渡しとなります。詳しくはページ上の問い合わせから事務局までどうぞ。

シンポジウムURL
https://semicon.electrochem.jp/page/89